碳化硅板開(kāi)裂的常見(jiàn)原因歸納如下:
1.碳化硅較厚時(shí)(如推板)會(huì)發(fā)生層裂,主要是壓制時(shí)的分層和燒結(jié)時(shí)的密不透風(fēng)造成的。2.使用碳化硅板時(shí),往往在最初幾次或較長(zhǎng)時(shí)間后出現(xiàn)開(kāi)裂。
3.碳化硅板剛開(kāi)始使用時(shí),碳化硅顆粒表面與外界接觸最大,碳化硅氧化最多,體積膨脹最強(qiáng)。此外,碳化硅板中的碳化硅是由少量粘結(jié)劑結(jié)合而成。隨著使用次數(shù)的增加,碳化硅表面的氧化膜逐漸熔化在一起,硅板的強(qiáng)度逐漸增強(qiáng),碳化硅就不再開(kāi)裂了。
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